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超晶（CJVAC）
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1200℃开启式管式炉(17英寸加热区，带密封法兰和可选尺寸石英管)--OTF-
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1200℃双炉体（管径80mm)滑动TCVD系统 OTF-1200X-80-DFSL
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1200℃双温区4坩埚分体式HPCVD炉（带进样系统）OTF-1200X-II-ZL
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石墨烯生长炉 OTF-1200X-III-D5-4
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